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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 /近藤英一
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商品名
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 /近藤英一
商品コード
S521-9784320081543
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販売価格：
3,080
円
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JANコード/ISBN
9784320081543
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著者名：近藤英一
出版社名：共立出版
発行年月：2005年10月
判型：Ａ５
ISBN：9784320081543
≪内容情報≫
マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。